日本研制出测量纳米级尺寸的超精密尺子

陈亮911

新华网东京１２月２１日电 日本关西学院大学一个研究团队２０日宣布，他们研发出一种超精密尺子，可用于测量纳米级别的尺寸。

    这个团队来自关西学院大学理工学系。他们研制的这种尺子以硬度仅次于钻石的碳化硅为主要材料。碳化硅质地坚硬，很难加工，研究人员为此专门开发出一种新的加工技术。他们把碳化硅放入超真空环境中加热到约２０００摄氏度，再对其表面进行切削。

    采用这一加工技术，研究人员成功使碳化硅材料表面形成了阶梯状构造，阶梯的每级“台阶”为０.５纳米，相当于尺子的一格刻度。据介绍，研究人员还能把“台阶”的高度做成０.７６纳米和１纳米。

    研究人员表示，这种超精密尺子可广泛应用于超精密仪器、计算机中央处理器、大规模集成电路等诸多涉及纳米技术的领域。新型尺子的耐腐蚀性也比传统的硅制精密尺子更胜一筹。